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德国ATL LASER
型号：ATLEX-500-L-KrF
型号：ATLEX-500-L-KrF
气体介质：KrF
波长：248nm
高压开关技术：固态开关
最大脉冲能量：15mJ
最大平均功率：6.5W
最大重复率：500Hz
脉冲持续时间：5–8ns
尺寸：6x4mm
光束发散：2x1mrad
能量稳定性：<2%
应用范围：
TMC（全金属陶瓷）容器
固态开关
延长动态和静态气体寿命（几个月）
风冷/可选液冷
用于系统集成的RS-485、RS232、USB和光纤接口
可冲洗的光学支架
便于气体处理的集成4阀系统
能量稳定模式
动态风扇速度控制
德国ATL LASER 型号：ATLEX-500-L-ArF
气体介质：ArF
波长：193nm
高压开关技术：固态开关
最大脉冲能量：10mJ
最大平均功率：4.0W
最大重复率：500Hz
脉冲持续时间：5–8ns
尺寸：6x4mm
光束发散：2x1mrad
能量稳定性：<2%
尺寸：600x415x567mm
重量：70kg
冷却：空气冷却
电力要求：230VAC/10A/1Phase/50-60Hz