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为了实现更高的处理能力，光学检验、激光切割或打标以及工业测量技术和显微镜学均需要具有较高运动精度和稳定性并且尽可能快速的定位系统。为了能够为多样化的应用提供解决方案，PI (Physik Instrumente)拥有两条XY位移平台产品线，其产品组合中包含各种电机。PI扫描仪
这些紧凑型定位系统可沿X和Y方向工作，其行程为100至300毫米，速度可达500毫米/秒，并且能够以高重复精度定位(单向重复精度可达0.05微米)。集成的高分辨率线性编码器直接在平台上测量位置;因此，非线性效应、机械游隙或弹性变形不会对位置测量造成任何影响。此外，具有平坦轮廓的平面设计很大程度地减少了堆叠误差并提高了刚度。100毫米的变型(图)在中心同样具有大孔径，因此可以从上方或下方接近样本或工件。PI扫描仪
XY位移平台由PI控制器或基于EtherCAT的ACS控制模块控制，该模块还提供基于事件的触发，以控制与运动模式相关的激光或测量工具。
线性电机直接驱动(V-731、V-738和V-741)或步进和直流电机(L-731、L-738和L-741)是XY位移平台的原动力。三相磁性线性电机省去了动力传动系统中的机械组件，并将驱动力直接传输到运动平台且不会产生任何摩擦。这意味着可以实现高达500毫米/秒的速度。无铁芯电机非常适合对精度有超高要求的定位任务，因为其不会与永久性磁铁发生不良作用。这么一来，即使在最低的速度下也能保持平稳的运行，且在高速状态下也不会产生振动。
