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Brooks Instrument 4850型质量流量控制器

    

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品牌Brooks Instrument 有效期至长期有效 最后更新2022-08-08 16:47
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Brooks Instrument 4850型质量流量控制器

Brooks Instrument 4850型质量流量控制器
 
  Brooks Instrument精密流体测量和控制技术的制造商,产品主要应用在在重工业。在石油和天然气精炼中。化学和石化研究。制药和生物制药生产。太阳能电池、LED、薄膜、光纤和半导体制造。
 
Brooks Instrument 4850型质量流量控制器技术规格:
流量范围(满量程):50 sccm - 40 slpm 
准确性:3.0% 满额,1.0% FS(可选)
重复性:0.15% FS
响应时间:常闭阀:300 ms - <1 sec
常闭阀:300 ms - <1 sec
压力:150 磅/平方英寸/10 巴
模拟通信:0-5 伏直流,4-20 毫安
数字通信:RS232
控制范围:2-100%
温度范围:5-50摄氏度
泄漏完整性:1x10 -10 atm cc/sec He
密封材料:弹性体密封
接液材料:316 不锈钢,哈氏合金 C-22,1707 PH,43055
电源/消耗:+15 Vdc + 10% 或 +24 Vdc + 10%
 Brooks Instrument 4850型质量流量控制器
Brooks Instrument 4850型质量流量控制器优势:
   Brooks Instrument 4800系列质量流量控制器和仪表基于 MEMS 的热传感器,结合专有的 PID 算法来优化控制阀响应,Brooks Instrument  4800 系列控制器能够快速匹配实际质量流量以适应任何变化。设定点。可选的本地操作员界面 (LOI) 提供了方便的用户界面来查看、控制和配置设备,无需远程辅助电子设备。
快速响应时间确保工艺配方更改过程中的快速步骤
适合 OEM:紧凑的尺寸便于集成到狭小的机器空间并加快安装速度
可选的本地操作员界面 (LOI) 是本地指示、设定点控制和设备配置的交钥匙解决方案;无需远程辅助电子设备
多种通信选项可轻松满足用户需求
 
Brooks Instrument 4850型质量流量控制器特征:
流量响应时间(稳定时间)<0.75 秒
创新的 MEMS 传感器和专有的 PID 算法
紧凑的尺寸不到典型热 MFC 尺寸的一半:1” x 3” x 4” (25 mm x 76 mm x 101 mm)
可选的本地操作员界面 (LOI) 简化了设置和操作;免费下载LabVIEW VI,用于监控和归零设备
通过 RS-232 的数字能力
 
Brooks Instrument 4850型质量流量控制器应用:
热处理、切割/焊接和其他热处理工艺
太阳能/薄膜物理气相沉积 (PVD) 系统
用于测量和控制试剂、校准和样气流量的分析设备
 
Brooks Instrument流量计常见型号:
SLA5853S3AAB2C2A1
SLAMF50S1BAF1G2A2
SLAMF50S1BAB1G2A2
SLAMF50S1BDD1G2A2
1350GAH3ABJT1AAA
SLA5850SB1AB1B2A1
 
Brooks Instrument 4850型质量流量控制器
 
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