Brooks Instrument 4850型质量流量控制器

Brooks Instrument 4850型质量流量控制器

 

  Brooks Instrument精密流体测量和控制技术的制造商，产品主要应用在在重工业。在石油和天然气精炼中。化学和石化研究。制药和生物制药生产。太阳能电池、LED、薄膜、光纤和半导体制造。

 

Brooks Instrument 4850型质量流量控制器技术规格：

流量范围（满量程）：50 sccm - 40 slpm 

准确性：3.0% 满额，1.0% FS（可选）

重复性：0.15% FS

响应时间：常闭阀：300 ms - <1 sec

常闭阀：300 ms - <1 sec

压力：150 磅/平方英寸/10 巴

模拟通信：0-5 伏直流，4-20 毫安

数字通信：RS232

控制范围：2-100%

温度范围：5-50摄氏度

泄漏完整性：1x10 -10 atm cc/sec He

密封材料：弹性体密封

接液材料：316 不锈钢，哈氏合金 C-22，1707 PH，43055

电源/消耗：+15 Vdc + 10% 或 +24 Vdc + 10%

 

Brooks Instrument 4850型质量流量控制器优势：

   Brooks Instrument 4800系列质量流量控制器和仪表基于 MEMS 的热传感器，结合专有的 PID 算法来优化控制阀响应，Brooks Instrument  4800 系列控制器能够快速匹配实际质量流量以适应任何变化。设定点。可选的本地操作员界面 (LOI) 提供了方便的用户界面来查看、控制和配置设备，无需远程辅助电子设备。

快速响应时间确保工艺配方更改过程中的快速步骤

适合 OEM：紧凑的尺寸便于集成到狭小的机器空间并加快安装速度

可选的本地操作员界面 (LOI) 是本地指示、设定点控制和设备配置的交钥匙解决方案；无需远程辅助电子设备

多种通信选项可轻松满足用户需求

 

Brooks Instrument 4850型质量流量控制器特征：

流量响应时间（稳定时间）<0.75 秒

创新的 MEMS 传感器和专有的 PID 算法

紧凑的尺寸不到典型热 MFC 尺寸的一半：1” x 3” x 4” (25 mm x 76 mm x 101 mm)

可选的本地操作员界面 (LOI) 简化了设置和操作；免费下载LabVIEW VI，用于监控和归零设备

通过 RS-232 的数字能力

 

Brooks Instrument 4850型质量流量控制器应用：

热处理、切割/焊接和其他热处理工艺

太阳能/薄膜物理气相沉积 (PVD) 系统

用于测量和控制试剂、校准和样气流量的分析设备

 

Brooks Instrument流量计常见型号：

SLA5853S3AAB2C2A1

SLAMF50S1BAF1G2A2

SLAMF50S1BAB1G2A2

SLAMF50S1BDD1G2A2

1350GAH3ABJT1AAA

SLA5850SB1AB1B2A1

 

Brooks Instrument 4850型质量流量控制器