布鲁克斯Brooks质量流量控制器GF40技术规格

布鲁克斯Brooks质量流量控制器GF40技术规格

   布鲁克斯Brooks Instrument

 

   Brooks GF40质量流量控制器带弹性体密封，为使用多种气体、频繁更换气体类型或需要重新调整量程同时保留气体测量和控制的系统、过程和设施提供了完美选择准确性。

 

Brooks GF40质量流量控制器特征：

可编程多气体/多量程功能

低于 1 秒的流量响应时间和 1% 设定点的精度，适用于工业应用

适合各种气体

快速响应，哈氏合金传感器

 

Brooks GF40质量流量控制器应用：

太阳能电池化学气相沉积系统

生命科学生物反应器

真空工艺

纳米技术/MEMS制造

等离子、玻璃和卷筒纸涂层系统

歧管/气体输送系统

 

Brooks GF40质量流量控制器技术规格：

流量范围（满量程）：3 sccm - 50 slm

准确性：1% SP 35；0.35% 满量程 2-35%

压力：150 磅/平方英寸/10 巴

重复性：<0.20% SP

响应时间：常闭阀：300 ms - <1 sec

密封材料：弹性体密封

表面处理：32µ 英寸 Ra

接液材料：316 不锈钢

模拟通信：0-5 伏、0-10 伏；0-20 毫安、4-20 毫安

 

 

布鲁克斯Brooks质量流量控制器GF40技术规格