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PIEZOCONCEPT纳米定位台Z-STAGE.10原理介绍

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品牌: PIEZOCONCEPT
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最后更新: 2023-08-16 09:47
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  PIEZOCONCEPT纳米定位台Z-STAGE.10原理介绍
王新宇
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PIEZOCONCEPT是生产纳米平台的行业,主要针对纳米平台与超高分辨率显微镜、光子捕获和原子力显微镜配套使用。PIEZOCONCEPT纳米定位台系列产品的特点就是使用的传感器优于电容传感器,能够获得更强的信号,确保平台高稳定性。同时,我们采用低噪声电子和弯曲设计平台,能够确保亚纳米级本底噪声。
 
PIEZOCONCEPT纳米定位台系列产品主要应用:
航天航空
显微与成像
医疗技术
纳米技术
数据存储技术
图像处理
测量/检测
生物科学与生命科学
集成光学
激光加工与激光光刻
半导体技术
超精密加工
 
Z-STAGE系列是一款紧凑型Z型直接驱动纳米定位器,具有高速能力。它可以与具有2×66毫米孔径(LF66 / LFHS2)的2轴纳米定位器结合使用,以获得SPM3或SPM3LR。Z 载物台可提供 5、10、25 或 50μm 的运动范围。
 
纳米定位器Z-STAGE.10型号参数
活动范围:50μm
分辨率0.05nm
本底噪声:0.005nm
重性 :0.1nm
线性化:0.02
谐振频率:3500Hz
刚度:2.7N/um
材质:铝
尺寸:Φ30x 69,8 mm
 
原理:纳米位移台主要采用超精密运动控制技术超精密技术是由光、机、电、控制软件等多领域技术集成的运动控制技术。内部由一个或多个压电陶瓷作为驱动,其产生单轴或者多轴的运动;通过柔性铰链技术将压电陶瓷产生的运动传递和放大;经超精密电容传感器将运动信息传递给控制系统,再由控制系统对该运动进行修正、补偿和控制;在对运动系统进行闭环控制时,可实现纳米、亚纳米级别的运动分辨率和运动控制精度。
 
型号:
PIEZOConCEPT HS1H.10
PIEZOConCEPT HS1H.30
PIEZOConCEPT HS1H.50
PIEZOConCEPT HS1H.70
PIEZOConCEPT HS1H.100
PIEZOConCEPT HS1.10
PIEZOConCEPT HS1.30
PIEZOConCEPT HS1.50
PIEZOConCEPT HS1.70
PIEZOConCEPT HS1.100
PIEZOConCEPT Z-STAGE.5
PIEZOConCEPT Z-STAGE.10
PIEZOConCEPT Z-STAGE.25
PIEZOConCEPT Z-STAGE.50
PIEZOConCEPT TT1.5
PIEZOConCEPT TT1.10
PIEZOConCEPT LFHS2.30
PIEZOConCEPT LFHS2.50
 PIEZOCONCEPT纳米定位台Z-STAGE.10原理介绍

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