德国PI纳米定位平台P-561采用电容式传感器

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自1970年成立以来，PI（Physik Instrumente）已成为精密定位技术领域的优质制造商。PI开发和生产用于线性、旋转和垂直运动或不同轴组合的各种定位平台和致动器。从精密机械和电子技术到位置传感器技术，以及子公司 PI Ceramic 开发的压电陶瓷和致动器。我们开发的技术包括从基本解决方案到特定应用版本。

主要产品：

PI纳米定位压电挠性平台

PI微型位移台

PI线性位移台

PI线性致动器

PI旋转位移台

PI六足位移台

P-733.3 XYZ 压电纳米定位仪 带孔径的高精度 XYZ 扫描仪

X 和 Y 移动范围达 100 µm × 100 µm，Z 移动范围达 10 µm

采用电容式传感器，分辨率达 0.1 纳米

直接驱动的高速版本

可根据要求提供超高真空兼容型和非磁性型

平行运动学，实现更高的精度和动态性能

并行计量，主动补偿导向误差

零间隙、高精度挠性导轨系统

50 mm × 50 mm 透明孔径，适用于透射光应用

P-561 - P-562 - P-563 PIMars 纳米定位平台 多达 3 轴的高精度纳米定位器

X 轴和 Y 轴平行运动学设计，响应时间更快，多轴精度更高

行程范围达 300 × 300 × 300 µm

采用电容式传感器，线性度高

零间隙和高精度挠性导轨

出色的扫描平面度

高动态 XYZ 版本

66 mm × 66 mm 净空

采用 PICMA® 压电执行器，使用寿命长

超高压版本可达 10-9 hPa

型号示例：

PI纳米定位平台P-616

PI纳米定位平台P-611.3

PI纳米定位平台P-733.3

PI纳米定位平台P-561

PI纳米定位平台P-562

PI纳米定位平台P-563

PI纳米定位平台P-517

PI纳米定位平台P-527

PI纳米定位平台P-518

PI纳米定位平台P-528

德国PI纳米定位平台P-561采用电容式传感器