德国PI纳米定位平台P-562.6CD具有6个运动轴精度更高

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自1970年成立以来，PI（Physik Instrumente）已成为精密定位技术领域的优质制造商。PI开发和生产用于线性、旋转和垂直运动或不同轴组合的各种定位平台和致动器。从精密机械和电子技术到位置传感器技术，以及子公司 PI Ceramic 开发的压电陶瓷和致动器。我们开发的技术包括从基本解决方案到特定应用版本。

主要产品：

PI纳米定位压电挠性平台

PI微型位移台

PI线性位移台

PI线性致动器

PI旋转位移台

PI六足位移台

P-518 - P-528 - P-558 压电 Z/尖端/倾斜平台 大孔径，高动态

带 3 轴的 Z 轴和尖端/倾斜平台/带 1 轴的 Z 轴平台

Z 轴/尖端/倾斜角的行程范围为 200 µm / 2 mrad，闭环（开环为 240 µm / 2.4 mrad）

平行运动学，响应时间更快，多轴精度更高

零间隙、高精度挠性导轨系统

采用 PICMA® 压电执行器，使用寿命长

66 毫米 × 66 毫米的净空孔径

电容式传感器实现高线性度

P-562.6CD PIMars 6 轴纳米定位平台 具有 6 个自由度的高精度纳米定位器

6 个运动轴： 3 × 线性、3 × 旋转

线性移动范围达 200 µm，尖端/倾斜角度达 1 mrad

平行运动学，响应时间更快，多轴精度更高

采用电容式传感器，线性度最高

零间隙、高精度挠性导轨系统

出色的扫描平面度

66 毫米 × 66 毫米的透明孔径

采用 PICMA® 压电致动器，使用寿命长

超高压兼容至 10-9 hPa

型号示例：

PI纳米定位平台P-562.6CD

PI纳米定位平台P-518

PI纳米定位平台P-528

PI纳米定位平台P-558

PI纳米定位平台P-527

PI纳米定位平台P-517

PI纳米定位平台P-563

PI纳米定位平台P-562

PI纳米定位平台P-561

PI纳米定位平台P-733.3

德国PI纳米定位平台P-562.6CD具有6个运动轴精度更高