德国PI纳米定位平台P-753电容式传感器线性度高

邱佳悦 QQ：2850590586   手机：13370157291 电话：010-64717020-117 传真：010-84786709-666 邮件：sales3@handelsen.cn

自1970年成立以来，PI（Physik Instrumente）已成为精密定位技术领域的优质制造商。PI开发和生产用于线性、旋转和垂直运动或不同轴组合的各种定位平台和致动器。从精密机械和电子技术到位置传感器技术，以及子公司 PI Ceramic 开发的压电陶瓷和致动器。我们开发的技术包括从基本解决方案到特定应用版本。

主要产品：

PI纳米定位压电挠性平台

PI微型位移台

PI线性位移台

PI线性致动器

PI旋转位移台

PI六足位移台

PI 的纳米定位平台和扫描仪结合了纳米级精度的分辨率和导向精度，并将串扰降低。因此，它们适用于计量、微观工艺、干涉测量或半导体芯片生产检测系统中的基准应用。带有 PICMA® 压电致动器驱动和挠性导轨的线性压电平台的行程范围可达 1.5 mm。

P-753 LISA 线性致动器和定位平台

位置动态稳定

导轨平台和执行器同时使用

行程范围达 38 µm

分辨率 0.1 nm

直接驱动，响应特别快

电容式传感器带来较高线性度

P-620.Z - P-622.Z PIHera 垂直精密定位器

可变行程范围和轴配置

行程范围 50 µm 至 250 µm（开环 350 µm）

分辨率达 0.1 nm

线性误差仅为 0.02

使用电容式传感器直接测量位置

X、XY、Z、XYZ 版本

型号示例：

PI纳米定位平台p-621.1U

PI纳米定位平台p-625.1U

PI纳米定位平台p-620.Z

PI纳米定位平台p-622.Z

PI纳米定位平台p-753

PI纳米定位平台p-752

PI纳米定位平台p-750

PI纳米定位平台p-733.Z

PI纳米定位平台p-612.Z

PI纳米定位平台p-611.1

德国PI纳米定位平台P-753电容式传感器线性度高