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维萨拉 K-PATENTS® 半导体折光仪 PR-33-S：
紧凑型折光仪，采用超纯改性PTFE流通池主体，适用于半导体液体化学过程。通过 1/4 — 1 英寸的立柱或扩口接头连接到工艺。维萨拉 K-PATENTS® 半导体折光仪 PR-33-S 可监测洁净室环境和集成工艺工具（混合、清洁、蚀刻和 CMP）中晶圆厂化学品的浓度。
PR-33-S 由一个超纯的改性 PTFE 流通池主体和一根以太网电缆组成，任何标准 PoE（以太网供电）交换机都可以使用该电缆将电力传输到传感器并将数据传输到计算机。PR-33-S 实时监测化学品浓度，并在化学品超出规格时提供以太网输出信号和即时反馈。例如，可以配置低浓度和高浓度警报来控制和延长浴槽寿命。浓度是通过对溶液的折射率nD和温度进行光学测量来确定的。
特征：
PR-33-S 直接与喇叭口或支柱配件在线安装。PR-33-S 结构紧凑，不含金属，占用空间很小。
N.I.S.T. 可溯源校准，使用标准 RI 液体进行验证，并经过验证的程序。。
通过以太网的远程面板，用于数据记录和远程操作。
通信由标准 UDP/IP 协议构建。
过程温度范围：-20°C – 85°C （-4°F – 185°F）。
通过内置 Pt1000 和自动数字温度补偿实现快速过程温度测量。
优势：
维萨拉 K-PATENTS® 半导体折光仪 PR-33-S 用于过程控制和监测，并提供连续的以太网输出信号。设计紧凑，设备直接在线安装。
折射率 nD 1.3200–1.5300 的全测量范围，相当于 0-100% 重量。可选范围 nD 1.2600–1.4700 用于强 HF。 典型精度 R.I.+ 0.0002，通常相当于 0.1%（重量），例如水中的 HCl。
测量不受 PPM 范围内的颗粒、气泡、湍流或杂质的影响。
型号：
TMW92测试变送器，电流输出
TMW93测试变送器，电压输出
HMW92(D) RH+T变送器，电流输出(带显示器)
HMW93(D) RH+T变送器，电压输出(带显示器)
HMW95(D) RH+T变送器(带显示器)，Modbus RTU通信
TMW90 测试变送器，可配置模拟输出模型
HMW90 RH+T变送器，可配置模拟/数字模型
HMD82， HMD82D， HMD83， HMD83D
HMS82， HMS82C， HMS83， HMS83C
HMW82， HMW82P100， HMW83， HMW88， HMW89. HMW89D
TMD82，TMW82， TMW88
vaisala半导体折光仪 PR-33-S的性能特征
