德国ADL电源GX 50/250 5KW高精度输出应用于半导体和微电子行业

（1）GX 50/250 电源介绍

GX 50/250 溅射电源能够自动消除每秒高达 40,000 次电弧。卓越的性能与小巧的尺寸是 GX 系列的突出特点。该设备可在不限制启动时间的情况下以全输出功率运行，也可并联使用。

 

（2）GX 50/250产品亮点

输出功率 5 - 15 kW

水冷

电磁阀控制（可选）

½ 19 英寸机箱，3 HE

无电位输出

自动电弧熄灭

 

（3）GX 50/250应用领域

1. 半导体晶圆制程：适配晶圆表面镀膜、晶圆衬底薄膜沉积等核心工序，为半导体芯片制造提供高精度功率支持，保障晶圆镀膜的均匀性与一致性；

2. 微电子器件加工：应用于二极管、三极管、集成电路（IC）等微电子器件的表面改性、薄膜制备工艺，满足器件微型化、高精度的制程要求；

3. 半导体封装与测试：为半导体器件封装环节的镀膜防护工艺提供稳定电源，提升封装器件的耐磨、抗氧化与绝缘性能；

4. 高端真空镀膜研发：适配高校、科研院所及企业研发中心的半导体材料镀膜实验室，为新型薄膜材料、新镀膜工艺的研发提供高精度实验平台；
 德国ADL电源GX 50/250 5KW高精度输出应用于半导体和微电子行业