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Q-521 Q-Motion®小型线性平台
带位置控制、分辨率高、价格实惠的最小线性平台
Q-521
Q-Motion®小型线性平台
宽仅21毫米、高仅10毫米
采用集成式增量编码器实现直接位置测
量
编码器分辨率高达1纳米
最小位移高达2纳米
带接装板或支架（作为选配件提供）的
多轴系统装置
适用于高达10-
6百帕的真空环境，还可提供用于真空
达10-9百帕的版本
压电惯性驱动器
压电陶瓷惯性驱动器为空间节约型且价格实惠的基于压电陶瓷的驱动器，其保持力相对较大，行程几乎是无限的。惯
性驱动原理是基于由特殊驱动器电控提供的修正锯齿波电压控制的单个压电促动器。促动器缓慢膨胀，移动转子。由
于其惯性，转子无法跟上促动器随后的快速收缩，停留在其位置上。工作频率高达20千赫兹时，驱动直接作用在动轮
上，实现最大为10毫米/秒的速度。
直接测量原理
可提供带非接触式光学线性编码器的版本。分辨率为4 纳米或1 纳米，取决于不同版本。带编码器的版本具有参考点
开关。
真空和无磁性环境
所有Q-Motion®线性平台都适用于高真空中的操作，真空可达10-6 百帕。此外，适用于10-
9 百帕的超高真空变型也可供货。可按需提供无磁性版本。
应用领域
微装配, 光子, 光学对准, 显微镜, 高能束线设备, 半导体技术, 测试
订购信息
Q-521.100
Q-Motion®
小型线性平台，压电惯性驱动，行程为12毫米，不带用于开环操作的位置传感器，推/拉力为1牛，尺寸为21 × 30 ×
10毫米(W × L × H)，真空兼容至10-6 百帕
Q-521.130
Q-Motion® 小型线性平台，压电惯性驱动，行程为12毫米，线性编码器，分辨率为4纳米，推/拉力为1牛，尺寸为21 ×
30 × 10毫米(W × L × H)，真空兼容至10-6 百帕
Q-521.140
Q-Motion® 小型线性平台，压电惯性驱动，行程为12毫米，线性编码器，分辨率为1纳米，推/拉力为1牛，尺寸为21 ×
30 × 10毫米(W × L × H)，真空兼容至10-6 百帕
Q-521.14U
Q-Motion® 小型线性平台，压电惯性驱动，行程为12毫米，线性编码器，分辨率为1纳米，推/拉力为1牛，尺寸为21 ×
30 × 10毫米(W × L × H)，真空兼容至10-9 百帕
Q-521.200
Q-Motion®
小型线性平台，压电惯性驱动，行程为22毫米，不带用于开环操作的位置传感器，推/拉力为1牛，尺寸为21 × 32 ×
10毫米(W × L × H)，真空兼容至10-6 百帕
Q-521.230
Q-Motion® 小型线性平台，压电惯性驱动，行程为22毫米，线性编码器，分辨率为4纳米，推/拉力为1牛，尺寸为21 ×
32 × 10毫米(W × L × H)，真空兼容至10-6 百帕
Q-521.240
Q-Motion® 小型线性平台，压电惯性驱动，行程为22毫米，线性编码器，分辨率为1纳米，推/拉力为1牛，尺寸为21 ×
32 × 10毫米(W × L × H)，真空兼容至10-6 百帕
Q-521.24U
Q-Motion® 小型线性平台，压电惯性驱动，行程为22毫米，线性编码器，分辨率为1纳米，推/拉力为1牛，尺寸为21 ×
32 × 10毫米(W × L × H)，真空兼容至10-9 百帕
Q-521.300
Q-Motion®
小型线性平台，压电惯性驱动，行程为32毫米，不带用于开环操作的位置传感器，推/拉力为1牛，尺寸为21 × 42 ×
10毫米(W × L × H)，真空兼容至10-6 百帕
Q-521.330
Q-Motion® 小型线性平台，压电惯性驱动，行程为32毫米，线性编码器，分辨率为4纳米，推/拉力为1牛，尺寸为21 ×
42 × 10毫米(W × L × H)，真空兼容至10-6 百帕
Q-521.340
Q-Motion® 小型线性平台，压电惯性驱动，行程为32毫米，线性编码器，分辨率为1纳米，推/拉力为1牛，尺寸为21 ×
42 × 10毫米(W × L × H)，真空兼容至10-6 百帕
Q-521.34U
Q-Motion® 小型线性平台，压电惯性驱动，行程为32毫米，线性编码器，分辨率为1纳米，推/拉力为1牛，尺寸为21 ×
42 × 10毫米(W × L × H)，真空兼容至10-9 百帕
