德国Physik Instrumente（PI）线性执行器

&&适用于真空的L-220 V6高分辨率线性执行器

适用于高循环数

适用于真空的L-220 V6高分辨率线性执行器

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适用于高达10-6 hPa的真空

力至125 N

26毫米（1英寸）行程范围

步进电机

参考级直线驱动器

结合了高精度，高作用力和高动态性。具有齿轮比的高性能，低振动的2相步进电机即使在没有位置控制的情况下也可以进行精确定位。

 

减少放气，特别是在真空环境下使用

最显着的是，为了润滑导向装置和驱动螺杆，使用了排气量极低的材料。因此，烘烤温度可达到80°C。通过对PI V6真空等级的这种和其他修改，该定位器的使用时间可达10 -6  hPa。

 

优质组件

滚珠丝杠，送纸顺畅。非旋转尖端可确保均匀运动，从而防止在接触点出现摆动，扭矩和磨损。含税 平面和球形尖端可消除耦合力。非接触式限位开关可保护机械性能。方向感应参考开关支持自动化应用。

 

应用领域

真空室。研究。Beamline仪表。显微镜检查。电子组装和检查。

 

 

 

 

 

 

&&A-68x PIglide RLA旋转平台，带空气轴承，大孔径

无摩擦，电动

A-68x PIglide RLA旋转平台，带空气轴承，大孔径

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直径365毫米的运动平台，直径260毫米的光圈

低调

偏心和平整度<300 nm

产品总览

PIglide RLA系列的直接驱动平面旋转平台设计为具有的精度。它们外形小巧，通光孔径大。RLA位移台具有出色的行程精度，平坦度和摆动性能。

 

绝对编码器（可选）

绝对值编码器提供明确的位置信息，可立即确定位置。这意味着在接通过程中不需要引用，从而提高了操作期间的效率和安全性。

 

应用领域

断层扫描，束线系统，晶圆计量，晶圆检查，测量技术，检查系统，校准，扫描。

 

由于无摩擦运动，不会形成任何颗粒，这使PIglide平台成为洁净室应用的理想选择。

 

三相转矩电机

无刷

低齿槽转矩

配件和选件

增量或绝对编码器

PIglide过滤器和空气制备套件

单轴或多轴运动控制器和伺服驱动器

多轴/自定义设置

花岗岩制底板和减振系统