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| 品牌Physik Instrumente | 有效期至长期有效 | 最后更新2021-03-09 17:11 |
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Physik Instrumente P-517多轴压电扫描仪 高动态纳米定位仪
Physik Instrumente P-517•P-527多轴压电扫描仪
高动态纳米定位仪/扫描仪，具有直接位置测量功能
2-和3-轴版本（XY和XYθ Ž）
行程范围为200 µm
亚纳米分辨率
Physik Instrumente应用领域
计量学
干涉仪
光子学/集成光学
平版印刷
纳米定位
扫描显微镜
样品比对
微加工
电容式传感器的亚纳米分辨率
电容式传感器可在不接触的情况下以亚纳米分辨率进行测量。它们保证了出色的运动线性，长期稳定性以及kHz范围内的带宽。
自动配置和快速的组件更换
机械和控制器可以根据需要进行组合，并可以快速更换。所有伺服和线性化参数都存储在机械师D-sub连接器的ID芯片中。每次打开控制器时，数字控制器的自动校准功能都会使用此数据。
Physik InstrumentePICMA®压电执行器，使用寿命长
专利的PICMA®压电执行器是全陶瓷绝缘的。这样可以保护它们免受潮湿和由于泄漏电流增加而引起的故障的影响。PICMA®执行器的使用寿命是传统聚合物绝缘执行器的十倍之多。已证明没有任何故障的1000亿次循环。
零游隙挠性导轨，导向精度高
挠性导板无维护，无摩擦和无磨损，并且不需要润滑。它们的刚度允许高负载能力，并且对冲击和振动不敏感。它们是100％真空兼容的，并且可在较宽的温度范围内工作。
Physik Instrumente平行位置测量，在纳米范围内具有很高的跟踪精度
所有的自由度均以单个固定参考为基准进行测量。轴之间不需要的串扰可以实时（根据带宽）得到主动补偿（主动引导）。即使在动态操作中，也可以在纳米范围内实现高跟踪精度。
二、Physik Instrumente产品用途
在许多应用领域中必须达到最大定位精度。半导体制造，显微镜，表面测量技术，生物技术，医学工程和自动化技术通常需要具有纳米级分辨率和可重复性的定位系统。除此之外，还要求响应时间短，真空兼容的设计和在宽温度范围内的功能。
三、Physik Instrumente产品分类
Physik Instrumente纳米定位压电弯曲平台
Physik Instrumente微型舞台
Physik Instrumente线性平台
Physik Instrumente线性执行器
Physik Instrumente旋转台
Physik Instrumentexy平台
四、Physik Instrumente产品型号；
Physik Instrumente L-505.021212F
Physik Instrumente L-505.AP1
Physik Instrumente G-901.R3197
Physik Instrumente P-734.2CL
Physik Instrumente E-501,00
Physik Instrumente E-503,00
Physik Instrumente E-509,C3A,
Physik Instrumente P-561.3CD
Physik Instrumente L-611.90AD
Physik Instrumente P-563.3CD
Physik Instrumente E-727.3CD
Physik Instrumente P-561.3CD
Physik Instrumente E-727.3CDAP
Physik Instrumente C-887.522
Physik Instrumente Hexapod H-811.F2:
Physik Instrumente U-780.DLS
Physik Instrumente N-565.160
Physik Instrumente N-565.260
Physik Instrumente P-517多轴压电扫描仪 高动态纳米定位仪
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