德国XITON激光器EXCITE-266技术指导

 

EXCITE是一种单频全固态激光系统，适用于紫外应用，如晶圆检测、光谱仪校准和干涉测量应用。小于30MHz的频谱带宽接近其理论傅立叶极限。

 

激光器在M²<1.6的衍射极限光束中提供短时间脉冲，重复率在1到30kHz之间。平均输出功率在266nm时超过150mW，或在355nm时超过500mW，在坚固的工业设计中具有超稳定的脉冲轨迹和超过4m的长相干长度。

 

XITON  EXCITE266

 

波长：266nm

频谱带宽：<60MHz

相干长度：>2.5m

平均功率：>150mW

脉冲持续时间：10-15ns

每脉冲能量：>12.5µJ

重复频率：1-30kHz

平方米：<1.7

脉冲到脉冲刺：σ<1.5%