MLase MLI准分子激光器 波长为 193 nm 或 248 nm

MLI 系列由具有直接波长的准分子激光器组成，适用于工业应用。当然，我们可以调整我们的基本设备以满足您的个性化需求。

MLI-200 / 500 / 1000 准分子激光器

MLase 的现代紧凑型 MLI 准分子激光器是波长为 193 nm 或 248 nm 的紫外光源，具有高达 16 mJ 的高脉冲能量和高达 1,000 Hz 的脉冲重复频率。

它们是市场上使用寿命最长、可靠性最高、运营成本最低的独立设备。它们均匀的钢型材和能量稳定性使它们非常适合要求苛刻的应用。

我们的LC准分子激光系统还能够进行主动水冷却（使用生活用水或外部热交换器；无需纯净水），以实现稳定的连续运行。

 

MLI准分子激光器

MLI 500 KRF

MLI=类型，500 =最大重复率； KrF = 波长 248 nm；

MLase  MLI-200 / 500 / 1000

主要特征

刚性设计

电晕预电离

固态电路

管技术

能量监视器 RoHS,CECDRH 合规

紧凑型准分子激光单相

 

产品优势

高可靠性

均匀的光束轮廓

即时可用，不老化

管子全金属密封

数十亿个脉冲的延长寿命

能量稳定