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德国MLase准分子激光器MLI-500，ArF、KrF
常用型号：
MLI-200
MLI-500
MLI-1000
参数介绍：
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参数 |
ArF |
ArF |
ArF |
KrF |
KrF |
KrF |
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波长（纳米） |
193 |
193 |
193 |
248 |
248 |
248 |
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脉冲重复频率（赫兹） |
200 |
500 |
1000 |
200 |
500 |
1000 |
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稳定的脉冲能量 （mJ） |
6 |
6 |
6 |
10 |
10 |
10 |
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稳定平均功率 （W） |
1,2 |
3,0 |
6,0 |
2,0 |
5,0 |
10 |
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脉冲稳定性（标准偏差%） |
2 |
2 |
2 |
2 |
2 |
2 |
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光束宽度（FWHM，VxHmm） |
6×3 |
6×3 |
6×3 |
6×3 |
6×3 |
6×3 |
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光束发散（FWHM，VxHmm） |
2×1 |
2×1 |
2×1 |
2×1 |
2×1 |
2×1 |
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脉冲长度 |
5-10 |
5-10 |
5-10 |
5-15 |
5-15 |
5-15 |
德国MLase准分子激光器MLI-500，ArF、KrF
