PI纳米定位器P-611.3O用于光纤定位半导体测试等

用于纳米定位和光纤对准的紧凑型多轴压电定位器

PI纳米定位器P-611.3O特点

行程可达 120 μm × 120 μm × 120 μm

超紧凑：44 mm × 44 mm × 44 mm

分辨率高达 0.2 nm

快速响应

无间隙和高精度固态导轨

通过PICMA®压电陶瓷促动器实现超长的使用寿命

用于快速扫描

带集成光纤支架的版本

特别具有成本效益的系统

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PI纳米定位器P-611.3O应用

光子学/集成光学

显微操作

生物工艺学

半导体测试

光纤定位

PI PICMA 压电陶瓷促动器具有出色的使用寿命

PI PICMA压电陶瓷促动器是全陶瓷绝缘的。这可以保护它们免受由于泄漏电流增加而导致的潮湿和故障的影响。PICMA促动器的使用寿命是传统聚合物绝缘致动器的十倍。已经证明了 100 亿次循环，没有一次故障。

PI P-611.3O技术参数

X级行程，非稳压，-20至120 V  120 微米

行程范围为 Y，无稳压，-20 至 120 V  120 微米

Z 轴行程范围，非稳压，-20 至 120 V   120 微米

X 分辨率，不受管制0.2海里

Y分辨率，不受管制0.2海里

Z 分辨率，不受管制 0.2海里

电容量1.5 微氟

刚度0.3 牛/微米

质量320 克

材料铝， 钢

温度范围-20 至 80 °C

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