SPS旋涂仪 POLOS 200用于涂布清洗漂洗/干燥

SPS旋涂仪 POLOS 200用于涂布清洗漂洗/干燥

POLOS 200 高级单基板旋转处理器，台面模型桌面版，自动化学品分配，重型电机。它支持多种流体，

这要归功于天然聚丙烯和聚四氟乙烯的全塑料外壳。电机模式旋转的控制，

结合POLOS Advanced系统中多达6个自动点胶机，可实现多层薄膜的均匀沉积和光刻胶显影。

这些功能通过全自动配方和高可重复性实现快速工艺优化。

适用于涂布、清洗、漂洗/干燥、显影、蚀刻、PDMI等工艺

特性

自动化学品分配

重型电机

支持多种流体

多达 6 个自动分配器

特点

高达 260 mm 的圆形或 6“ x 6” 方形基板

材料：天然聚丙烯（高级NPP，工具体和所有接液表面）或PTFE

带注射器支架的透明盖，用于集中点胶

CW 和 CCW 水坑旋转

（可拆卸）带有可定制图标的彩色触摸屏

手套友好，IP52，耐化学腐蚀

无限程序存储，用于每个步骤的食谱

USB端口

标准 1“ 排水连接

与我们的蓝宝石MegPie兆声波换能器兼容

我们还为该系列提供可选的背面冲洗盖和气动盖、真空泵、分散容器和喷射喷射器！

包括

3 个可编程干式继电器，标称开关容量 0.5A / 125 VAC - 0.3A / 60DC

1 件式真空吸盘 A-V36-S45-NPP，适用于直径达 Ø 150mm 的基板和 1 件式碎片适配器 D-V10-S50-NPP

型号

POLOS 200

POLOS 300

POLOS 450

POLOS SPIN150i

POLOS SPIN200i

SPS旋涂仪 POLOS 200用于涂布清洗漂洗/干燥