PZ 250 CAP WL专为直径达12英寸的半导体晶片的精确定位而开发

 

公司简介：

 

压电位移台PIEZOSYSTEM

德国PIEZOSYSTEM JENA成立于1991年，为半导体，显微镜和同步加速器领域提供压电微定位，压电定位和计量解决方案。PIEZOSYSTEM JENA在将压电技术应用于定位任务，压电弯曲阶段的设计以及压电机械系统的开发方面拥有广泛的知识和深入的技术专长。基于压电的仪器配备了压电技术，可提供几乎无限分辨率的XY或3D运动。PIEZOSYSTEM JENA的计量实验室配备了高分辨率测距干涉仪，使其能够对分辨率低至50皮米的压电平台，z轴显微镜压电元件和压电执行器系统的自定义加载配置进行测试。准确确定一次共振是PIEZOSYSTEM JENA可以为客户提供的众多服务之一，以确保提供的系统能够满足苛刻的定位任务。

 

主营产品有：压电陶瓷环、线性促动器、两轴位移台、三轴位移台、五轴位移台、偏摆台等

 

PZ 250 CAP WL

 

PZ 250 CAP WL专为直径达12英寸的半导体晶片的精确定位而开发。致动器在Z方向上提供250 μm的运动行程。可以实现纳米级的精度。可以长期稳定地保持特定的位置。由于其高硬度，PZ 250 CAP WL可以承载高达3公斤的负荷。

 

1、同一系列的不同型号之间，主要差别在于行程，以及行程不同引起的精度差异、尺寸差异等，例如：

 

型号：PZ 250 CAP WL

 

编号：S-627-51 D

轴：Z

行程 (±10%)：350μm

分辨率。：3nm

尺寸(长x宽x高)：400 x 380 x 20mm

 

PZ 250 CAP WL专为直径达12英寸的半导体晶片的精确定位而开发