德国ADL HX 900工业直流电源额定功率下效率95%应用于半导体行业

 

在薄膜涂层、磁控溅射等精密工业领域，电源设备的稳定性、工艺适配性与运行可靠性直接决定了产品质量与生产效率。德国ADL（Analoge und Digitale Leistungselektronik GmbH）深耕电力电子领域三十余年，推出的HX900高功率水冷直流电源，以90kW额定功率、极速电弧管理与强悍环境适应性，成为非反应性阴极涂层工艺的优选动力设备，为中大型大面积、高精度涂层生产线提供稳定支撑。

 

一、ADL HX900产品定位：

HX900是ADL针对工业级非反应性涂层工艺研发的主力机型，核心定位为4米以内长阴极涂层生产线提供90kW级高效、稳定的直流动力。其兼具经济性与高可靠性，模块化结构可灵活适配不同产能需求，无需复杂手动编程即可实现多目标工艺切换，大幅降低调试成本与操作门槛，广泛应用于工具涂层、装饰表面处理、建筑玻璃镀膜、太阳能电池制备等中批量生产场景。

 

二、ADL HX900核心技术特性：

1. 额定功率精准输出与模块化拓展

HX900额定输出功率为90kW，搭配800V额定输出电压、280A额定电流，设定值精度达标称值的±1%，工艺重复性优于2%，可精准匹配中大型阴极与不同涂层厚度需求。采用模块化结构设计，支持多台并联运行，总功率可攀升至280kW以上，既能满足现有中批量生产线需求，又能为后续产能扩张提供灵活升级路径，无需整体更换设备，降低全生命周期成本。

 

2. 极速自动电弧管理系统

电弧干扰是涂层工艺中影响靶材寿命与涂层质量的关键问题，HX900搭载全自动电弧管理系统，响应时间＜2μs，电弧能量＜0.3mJ/kW，可实现高达40,000电弧/秒的检测与处理能力，消弧时间在6µs至3ms间自动调节。系统能实时识别工艺参数变化并自动调整，无需人工编程干预，每秒可自动补偿2000次电弧，快速抑制电弧对涂层的损伤，同时通过自动功率补偿功能，确保电弧发生后功率快速恢复稳定，避免工艺中断，显著提升涂层均匀性与成品率。

 

3. 强悍水冷系统与全域环境适配

HX900采用工业级高效水冷设计，工作水压范围4-8bar，搭配集成温控与电磁阀控制功能，可自动检测环境湿度、防止冷凝水产生，精准保护内部电路组件。即便在无空调的高温、高湿工业环境中，仍能实现24小时连续稳定运行，设备年损坏率低于1%。

 

三、ADL HX900关键技术参数汇总

参数类别 具体指标

输出功率范围 90kW（并联可至280kW+）

输出电压/电流 800V / 280A

电弧处理能力 最高40,000电弧/秒，响应时间＜2μs，消弧时间6µs-3ms

调节精度 设定值的±1%，工艺重复性≤2%

冷却方式 工业水冷（4-8bar），电磁阀控制防冷凝

适配阴极长度 最长4米

转换效率 额定功率下约95%

控制接口 支持Profibus DP、EtherCAT、RS232/485等工业协议

 

四、ADL HX900应用价值

HX900凭借“德国制造”的严苛品控，在工业涂层领域展现出显著应用价值：针对非反应性工艺的精准适配能力，搭配低振动设计，可有效提升涂层质量与生产稳定性；全自动操作与模块化设计，降低人力成本与升级门槛；高效水冷与低故障率（＜0.5%）特性，延长设备使用寿命，减少停机损失。ADL凭借三十余年溅射技术经验，为HX900提供12个月质保与专业技术支持，供货周期7-60个工作日，可通过国内授权经销商实现快速采购与售后响应。

德国ADL HX 900工业直流电源额定功率下效率95%应用于半导体行业