德国MLase准分子激光器MLI 1000 ARF波长193纳米

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MLase是紫外光医疗和工业产品供应商。自2007成立以来，MLase一直致力于开发和生产创新型高质量激光和光系统，这是高度专业化的专家团队多年经验的结晶。MLase AG 为客户提供优质的产品，同时考虑到新的技术。MLase AG的质量管理符合ISO 13485:2016标准。

ARF 和 KRF 是两种常见的准分子激光器类型，分别代表氩氟化物激光器（ArF 激光器）和氪氟化物激光器（KrF 激光器）。它们都属于气体激光器的一种，使用稀有气体和氟化物混合物作为激光介质，并且都通常在紫外光区域产生激光。

ARF 激光器（氩氟化物激光器）：

   - 波长：约193纳米

   - 工作介质：氩氟化物混合气体

   - 应用：主要应用于半导体光刻技术，用于制造集成电路芯片。

KRF 激光器（氪氟化物激光器）：

   - 波长：约248纳米

   - 工作介质：氪氟化物混合气体

   - 应用：广泛用于激光微加工、医疗、科学研究等领域，也用于半导体光刻。

这两种类型的激光器在波长和应用领域上略有不同，但它们都具有高能量密度、精确的波长控制和窄脉冲宽度等特点。这使它们在诸如微加工、医学、科学研究和半导体制造等领域中得到了广泛应用。

Mlase MLI 1000 ARF准分子激光器

参数：ArF

波长（纳米）：193

最大。重复率 (Hz)：1000

稳定的脉冲能量(mJ)：6

稳定的脉冲功率(W)：6,0

能量稳定性 (sigma, %)：2

光束尺寸 (FWHM, V x H mm)：6x3

光束发散（FWHM，V x H mrad）：2x1

脉冲持续时间（FWHM）（ns）：5-10

型号示例：

Mlase准分子激光器MLI 500 ARF

Mlase准分子激光器MLI 500 KRF

Mlase准分子激光器MLI 200 KRF

Mlase准分子激光器MLI 1000 KRF

Mlase准分子激光器MLI 200 ARF

Mlase准分子激光器MLI 1000 ARF

德国MLase准分子激光器MLI 1000 ARF波长193纳米