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Physik Instrumente (PI) XYZ压电弯曲扫描仪

Physik Instrumente (PI) 无间隙的回程导轨，实现高导向精度。
平行位置测量，在纳米范围内具有较高的跟踪精度。

PICMA®压电执行器是完全陶瓷绝缘的。PICMA®执行器的使用寿命是传统聚合物绝缘执行器的十倍。没有被证实一次失败的1000亿次循环。

所有的自由度都与一个固定的参照物有关。与其他轴的不必要运动串扰（主动引导）可以实时主动补偿（取决于带宽）。在动态工作中，还可以实现纳米范围内的高跟踪精度。

示范。

带压电偏转的XYZ定位器和扫描仪

Physik Instrumente (PI) P-733.3 压电式纳米定位器XYZ

带XYZ孔径的高精度扫描仪

Physik Instrumente (PI) P-616NanoCube® 纳米定位器

用于纳米定位和光纤对准的紧凑型压电平行运动系统。

Physik Instrumente (PI) P-611.3NanoCube®XYZ压电系统

用于纳米定位和光纤对准的紧凑型多轴压电系统

Physik Instrumente (PI)  P-561-P-562-P-563 PIMars纳米定位站

最多3轴的高精度纳米定位器

 

Physik Instrumente (PI)  P-517-P-527压电式多轴扫描仪

可直接测量位置的高动态纳米定位仪/扫描仪

Physik Instrumente (PI)  XYZ扫描器与压电偏转显微镜

Physik Instrumente (PI)  P-545.xR8SPInano®XY(Z)压电系统。

用于高分辨率显微镜的低成本纳米定位系统。

Physik Instrumente (PI)  P-545.xC8SPInano®Cap XY(Z)压电系统。

用于超高分辨率显微镜的电容式位置测量法

Physik Instrumente (PI)  P-545.3D8SP压电式Inano®Trak跟踪系统。

用于高动态显微镜的快速XY(Z)平台。

小型精密XYZ纳米扫描仪

Physik Instrumente (PI) P-363 PicoCube XY (Z)压电扫描器

用于扫描探针显微镜的高动态纳米定位系统。

 

Physik Instrumente (PI) 压电扫描器P-313 PicoCube XY (Z)

比色计精度 扫描探针显微镜的高带宽

德国Physik Instrumente (PI)  XYZ压电弯曲扫描仪