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Physik Instrumente (PI) P-612.2 XY压电纳米定位系统

特征：

·         紧凑：60毫米x60毫米表面

- 100 µm x 100 µm 闭式控制环路中的行程范围 (130 µm x 130 µm, 开式控制环路)

- 对于成本关键型应用

- 镜头罩20毫米x20毫米

- 平行运动学可实现更快的响应时间和更高的多轴精度。

- PICMA®压电执行器，寿命长。

- 也有精简版

适用领域：

- 扫描显微镜

- 高通量显微镜

- 超分辨率显微镜

- 掩膜/晶圆定位

- 干涉仪

- 测量技术

- 生物技术

- 显微手术

PICMA®压电执行器，寿命长。

获得专利的压电式PICMA®执行器是完全陶瓷绝缘的。PICMA®执行器的使用寿命是传统聚合物绝缘执行器的十倍。没有被证实一次失败的1000亿次循环。