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Physik Instrumente (PI) XYZ压电弯曲扫描仪P-611.3压电系统
PI不仅开发和生产各种定位平台和执行器，用于线性，旋转和垂直运动或不同轴的组合。 PI因此将这些解决方案适应客户特定的应用或提供用于运动和定位的成品子系统。产品特征：
- 行程范围为120 µm x 120 µm x 120 µm。
- 超紧凑：44毫米x44毫米x44毫米。
- 分辨率达0.2纳米
- 快速反应行为
- 无间隙、高精度偏转导向系统
- PICMA®压电执行器，寿命长。
- 快速扫描
- 带集成光纤支架的型号
- 极具成本效益的系统
应用
- 光子学/集成光学
- 显微手术
- 生物技术
- 半导体的测试
- 光学定位
导向精度高的无背隙挠曲导向器
柔性导轨是免维护、免摩擦、免磨损的，不需要润滑。其刚度使其具有较高的负载能力，对冲击和振动不敏感。它们是100%真空兼容的，可以在很宽的温度范围内操作。
PICMA®压电执行器，寿命长。
获得专利的压电式PICMA®执行器是完全陶瓷绝缘的。PICMA®执行器的使用寿命是传统聚合物绝缘执行器的十倍。没有被证实一次失败的1000亿次循环。
