德国SPS(POLOS)旋涂机 SPIN150i用于厚度低于 10 nm薄膜

旋涂机主要用于利用向心力制造厚度低于 10 nm 的均匀高质量厚度的薄膜。通常，您在半导体晶圆上旋转涂光刻胶，但我们的POLOS旋涂机也用于旋涂聚合物薄膜，如嵌段共聚物（BCP），如PDMS和PMMA，或作为低成本的溶胶-凝胶方法，例如旋涂ZnO薄膜。同时，POLOS旋涂机提供无限的工艺：在触摸屏上轻松直观的编程，无限的程序/步骤和图形表示。以及可重复的旋涂工艺，一次又一次。这使得POLOS旋涂机成为您可以买到的最好的实验室旋涂机

 

二、SPS(POLOS)型号介绍

Part nr: 41096 POLOS SPIN150i 

Part nr: 41387 POLOS SPIN200i NPP

Part nr: VP-230V Vacuum Pump (Oil-less) 

Part nr: 27852 

Fragment Adapter (D-V2.5-S50-PP)  

 

二、SPS(POLOS)产品分类

SPS(POLOS) 旋涂机

易于安装、可重复的旋涂

 

SPS(POLOS)无掩模光刻

最高精度的纳米结构

 

SPS(POLOS)面罩矫正器

高产值和用户友好

 

SPS(POLOS)电炉

精确的温度控制

 

电影表征

超快速和准确的晶圆映射

光刻胶

适用于永久性应用

喷涂机

高精度纳米颗粒涂层

 

晶圆处理

安全运输和储存您的晶圆

 

补充设备

您可能需要的其他工具

三、SPS(POLOS)产品介绍

1、SPS(POLOS)旋涂

POLOS旋涂机提供无限的工艺：通过大型彩色触摸屏控制器进行简单的分步配方编程，USB连接或从您自己的PC下载，无限的程序/步骤和图形表示。它们还提供可重复的旋涂工艺，一次又一次。可作为单台台式晶圆旋涂机提供，但我们也提供全系列湿站解决方案。联系我们获取更多信息！

型号介绍：

旋涂机

150 毫米

200 毫米

300 毫米

450 毫米

>500 毫米