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| 品牌ARZUFFI | 有效期至长期有效 | 最后更新2022-02-18 18:20 |
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意大利ARZUFFI发电机 BDS-MF系列
ARZUFFI发电机 BDS-MF系列
Arzuffi BDS-MF是一款等离子发生器，其正弦输出电压为40 kHz，最大功率输出为5 kW或10 kW，专为PECVD等离子或等离子体激发而设计。
该发生器能够提供高达10kW(5KW)至5000V的RMS输出。输出为两个对称电极的平衡型。
典型的应用是大型工艺室的PECVD工艺。
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名称： ARZUFFI发电机 BDS-MF系列
型号： ARZUFFI
产地： 意大利
一个特点是内部输出的高压变压器，带有两个插座，以适应等离子体阻抗。
该发生器设计用于现有机器上的即插即用安装。
ARZUFFI发电机 BDS-MF系列参数：
BDS-MF5K
BDS-MF10K
输出功率
负载为2000欧姆负载时为5 kWatt
负载为2000欧姆负载时为10 kWatt
供电电压
3 X 400 VAC +/- 10%50/60 HZ，10A
(L1，L2，L3，PE)
3 X 400 VAC +/- 10%50/60 HZ，18 A(L1，L2，L3，PE)
尺寸
抽屉19英寸机架，4UI高度(177毫米)540毫米深度
抽屉19英寸机架，4UI高度(177毫米)540毫米深度
重量
20KG铝制容器
20KG铝制容器
冷却
空气冷却，高效散热器，该装置可在高达40°C的环境温度下工作
空气冷却，高效散热器，该装置可在高达40°C的环境温度下工作
输出电压
在2000欧姆负载时，tap2上的电压高达5000V
在2000欧姆负载时，tap2上的电压高达5000V
输出电流
TAP1上最高3.5 A，TAP2上最高2.5A
TAP1上最高3.5 A，TAP2上最高2.5A
输出连接器
2个Fischer 105连接器上的平衡输出，用于RG214 / U同轴电缆
2个Fischer 105连接器上的平衡输出，用于RG214 / U同轴电缆
等离子点火电压
大于5500 VRMS
大于5500 VRMS
电弧识别电路
过流一次回路，反应时间1微秒
过流一次回路，反应时间1微秒
接口
DB25连接器，模拟10V信号，24V数字
引脚排列，兼容ADVANCED ENERGY PEII©
RS232或PROFIBUS 发生器(可选)
DB25连接器，模拟10V信号，24V数字
引脚排列，兼容ADVANCED ENERGY PEII©
RS232或PROFIBUS 发生器(可选)
前面板
LCD显示2×40个字符
LCD显示2×40个字符
测量电路
RMS电压，RMS电流，负载上提供的有功功率
RMS电压，RMS电流，负载上提供的有功功率
调节电路
动力
动力
高压输出变压器
两个Tap1输出插座，用于1000欧姆负载，Tap2用于2000欧姆负载
两个Tap1输出插座，用于1000欧姆负载，Tap2用于2000欧姆负载
合规
EC可根据要求提供符合性声明
EC可根据要求提供符合性声明
