POLOS ® SPIN150x 是一种多功能、高质量的基底
旋涂机，由 NPP 制成。它专为研发和小批量生产
而设计。台式型号可手动或自动（可选）分配化学
品。
腔体规格
外壳材质
天然聚丙烯（NPP）
最大底物直径
最大可用 6” (150 mm) 晶圆
最大可用 4” x 4” (100 mm) 底物
我们的新 POLOS ® SPIN150 X 将于2024NEW 年开始供应
适用范围:
• 涂层
• 清洗冲洗/烘干
• 显影
• 刻蚀
• PDMI
• 其他程序.
硬件规格：
液体过滤疏水阀
• 独特的外壳和排水管设计，可切换桌面和Indeck模式
用于注射器或喷嘴的中心注射支架
• 盖锁和真空传感器确保用户安全
• 大尺寸触摸显示屏（可拆卸）
• USB 端口，用于在 USB 驱动器上存储配方和进行软件
更新
驱动装置规格：
• 间接无刷驱动装置
• 转速高达 12.000 RPM（取决于底物/卡盘）
• 高加速度、高精度
• 加速/减速 1-30.000 RPM
• 顺时针、逆时针旋转和漩涡选项
SPS POLOS ® SPIN150x旋涂仪2024新品上市
SPS POLOS ® SPIN150x旋涂仪2024新品上市
| 李鹏涛 QQ：3225959274 手机：18519813516 电话：010-64714988-177 传真：010-84786709-667 邮件：sales24@handelsen.cn |
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