德国Physik带光圈的压电纳米定位器 P-733.3 XYZ系列

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Physik 多轴压电

Physik PI多轴压敏仪允许在多达6个轴上以亚纳米级精度进行定位和扫描，包括所有倾斜和旋转方向。从特别紧凑的压电立方体到具有大孔径和低剖面的设计，有许多变体可供选择。

P-733.3 XYZ 压电纳米定位器

带孔径的高精度XYZ扫描仪

行程可达 120 μm × 120 μm × 120 μm

超紧凑：44 mm × 44 mm × 44 mm

分辨率高达 0.2 nm

快速响应

无间隙和高精度固态导轨

通过PICMA®压电陶瓷促动器实现超长的使用寿命

用于快速扫描

带集成光纤支架的版本

特别具有成本效益的系统

应用

光子学/集成光学

显微操作

生物工艺学

半导体测试

光纤定位

通过无间隙固态接头导向装置实现高导向精度

固态接头导轨无需维护、无摩擦、无磨损，无需润滑剂。它们的刚性使其具有很高的弹性，对冲击载荷和振动不敏感。它们具有 100% 真空能力，可在很宽的温度范围内运行。

PICMA 压电陶瓷促动器具有出色的使用寿命®

获得专利的PICMA®压电陶瓷促动器是全陶瓷绝缘的。这可以保护它们免受由于泄漏电流增加而导致的潮湿和故障的影响。PICMA®促动器的使用寿命是传统聚合物绝缘致动器的十倍。经过 100 亿次循环验证，无一次故障。

P-733.3CD

P-733.3CL

P-733.3DD

P-561 • P-562 • P-563 PIMars 纳米定位台

高精度纳米定位器，最多 3 个轴

X、Y 轴的行程可达 100 μm × 100 μm，Z 轴轴的行程可达 10 μm

电容式传感器分辨率高达 0.1 nm

高速、直接驱动版本

可根据要求提供超高真空和非磁性版本

通过并联运动学提高精度和动态性

用于主动补偿领先误差的并行计量

无间隙和高精度固态导轨

自由光圈 50 mm × 50 mm，适用于透射光应用

应用

扫描显微镜

共聚焦显微镜

掩模/晶圆定位

表面计量

纳米压印

显微操作

图像处理/防抖

具有高平整度和运动直线度的纳米定位

带电容式传感器的亚纳米分辨率

电容式传感器以亚纳米分辨率进行非接触式测量。它们保证了出色的机芯线性度、高长期稳定性和 kHz 范围内的带宽。

自动配置和快速组件更换

机械装置和控制器可以根据需要组合并快速更换。所有伺服和线性化参数都存储在机械师D-Sub连接器的ID芯片中。每次控制器打开时，数字控制器的自动校准功能都会自动使用此数据。

PICMA 压电陶瓷促动器具有出色的使用寿命®

获得专利的PICMA®压电陶瓷促动器是全陶瓷绝缘的。这可以保护它们免受由于泄漏电流增加而导致的潮湿和故障的影响。PICMA®促动器的使用寿命是传统聚合物绝缘致动器的十倍。经过 100 亿次循环验证，无一次故障。

通过无间隙固态接头导向装置实现高导向精度

固态接头导轨无需维护、无摩擦、无磨损，无需润滑剂。它们的刚性使其具有很高的弹性，对冲击载荷和振动不敏感。它们具有 100% 真空能力，可在很宽的温度范围内运行。

通过平行位置测量实现纳米范围内的高路径保真度

所有自由度均根据单个固定基准进行测量。可以实时调节运动到另一个轴的不需要的串扰（取决于带宽）（主动引导）。即使在动态操作中，也能实现纳米范围内的高路径保真度。

P-561.3CD

P-561.3CL

P-562.3CD

P-562.3CL

P-563.3CD

P-563.3CL

P-561.3DD

P-517 • P-527 多轴压电扫描仪

具有直接位置测量功能的高动态纳米定位器/扫描仪

带压电陶瓷驱动器和固态接头的升降/倾斜工作台

2 轴和 3 轴版本（XY 和 XYθZ)

行程可达 200 μm

亚纳米分辨率

应用

测量

干涉

光子学/集成光学

光刻

纳米定位

扫描显微镜

样品比对

微加工

PICMA® 压电陶瓷促动器具有出色的使用寿命

获得专利的PICMA®压电陶瓷促动器是全陶瓷绝缘的。这可以保护它们免受由于泄漏电流增加而导致的潮湿和故障的影响。PICMA®促动器的使用寿命是传统聚合物绝缘致动器的十倍。经过 100 亿次循环验证，无一次故障。

带电容式传感器的亚纳米分辨率

电容式传感器以亚纳米分辨率进行非接触式测量。它们保证了出色的机芯线性度、高长期稳定性和 kHz 范围内的带宽。

通过无间隙固态接头导向装置实现高导向精度

固态接头导轨无需维护、无摩擦、无磨损，无需润滑剂。它们的刚性使其具有很高的弹性，对冲击载荷和振动不敏感。它们在很宽的温度范围内工作。

自动配置和快速组件更换

机械装置和控制器可以根据需要组合并快速更换。所有伺服和线性化参数都存储在机械师D-Sub连接器的ID芯片中。每次控制器打开时，数字控制器的自动校准功能都会自动使用此数据。

通过平行位置测量实现纳米范围内的高路径保真度

所有自由度均根据单个固定基准进行测量。可以实时调节运动到另一个轴的不需要的串扰（取决于带宽）（主动引导）。即使在动态操作中，也能实现纳米范围内的高路径保真度。

P-517.2CD

P-517.2CL

P-517.3CD

P-517.3CL

P-517.RCD

P-527.2CD

P-527.2CL

P-527.3CD

P-527.3CL

P-527.RCD