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Physik 压电纳米定位表
Physik 多轴压电
Physik PI多轴压敏仪允许在多达6个轴上以亚纳米级精度进行定位和扫描，包括所有倾斜和旋转方向。从特别紧凑的压电立方体到具有大孔径和低剖面的设计，有许多变体可供选择。
Physik XYZ 扫描仪是定位技术的通用工作台。它们的应用包括样品定位、光学计量、光纤定位和光子学或原子力显微镜。
所有压电纳米定位系统均经过工厂测试，并带有测量协议的预设交付。
Physik XYZ 压电立方体紧凑型
Physik P-616 纳米立方体纳米定位器
用于纳米定位和光纤调整的紧凑型并联运动压电系统
并联运动设计，在所有空间方向上实现最大刚性
高共振频率，负载高达100 g的高动态运动
通过单一、灵活的安装平台实现创新产品设计
市场上具有ID芯片功能的纳米定位器
市场上小、轻的纳米立方体，行程为 100 μm
应用
光纤定位和对准
扫描显微镜
2-光子聚合
纳米技术和纳米制造
光子学/集成光学
显微操作
样品定位
Physik P-616.3C
PICMA 压电陶瓷促动器具有出色的使用寿命
获得专利的PICMA 压电陶瓷促动器是全陶瓷绝缘的。这可以保护它们免受由于泄漏电流增加而导致的潮湿和故障的影响。PICMA®促动器的使用寿命是传统聚合物绝缘致动器的十倍。经过 100 亿次循环验证，无一次故障。
带电容式传感器的亚纳米分辨率
电容式传感器以亚纳米分辨率进行非接触式测量。它们保证了出色的机芯线性度、高长期稳定性和 kHz 范围内的带宽。
通过无间隙固态接头导向装置实现高导向精度
固态接头导轨无需维护、无摩擦、无磨损，无需润滑剂。它们的刚性使其具有很高的弹性，对冲击载荷和振动不敏感。它们在很宽的温度范围内工作。
自动配置和快速组件更换
机械装置和控制器可以根据需要组合并快速更换。所有伺服和线性化参数都存储在机械师D-Sub连接器的ID芯片中。每次控制器打开时，数字控制器的自动校准功能都会自动使用此数据。
通过平行运动实现高动态多轴操作
在并联运动多轴系统中，所有执行器都作用于一个公共平台。最小的质量惯性和所有轴的相同设计允许快速、动态和精确的运动。
Physik P-611.3 纳米立方体XYZ系统
紧凑型多轴压电系统，用于纳米定位和光纤调整
XYZ 带光圈的 Piezotic
行程可达 120 μm × 120 μm × 120 μm
超紧凑：44 mm × 44 mm × 44 mm
分辨率高达 0.2 nm
快速响应
无间隙和高精度固态导轨
通过PICMA®压电陶瓷促动器实现超长的使用寿命
用于快速扫描
带集成光纤支架的版本
特别具有成本效益的系统
应用
光子学/集成光学
显微操作
生物工艺学
半导体测试
光纤定位
通过无间隙固态接头导向装置实现高导向精度
固态接头导轨无需维护、无摩擦、无磨损，无需润滑剂。它们的刚性使其具有很高的弹性，对冲击载荷和振动不敏感。它们具有 100% 真空能力，可在很宽的温度范围内运行。
PICMA 压电陶瓷促动器具有出色的使用寿命
获得专利的PICMA压电陶瓷促动器是全陶瓷绝缘的。这可以保护它们免受由于泄漏电流增加而导致的潮湿和故障的影响。PICMA®促动器的使用寿命是传统聚合物绝缘致动器的十倍。经过 100 亿次循环验证，无一次故障。
Physik P-611.3S
Physik P-611.3SF
Physik P-611.3O
Physik P-611.3OF
