德国Physik扫描定位器P-587 6轴压电精密调节器

孙粗 QQ：2335451726   手机：18510570918 电话：010-64714988-197 传真：010-84786709-667 邮件：sales96@handelsen.cn

Physik 多轴压电

Physik PI多轴压敏仪允许在多达6个轴上以亚纳米级精度进行定位和扫描，包括所有倾斜和旋转方向。从特别紧凑的压电立方体到具有大孔径和低剖面的设计，有许多变体可供选择。

6轴压电定位器

​

P-587 6轴压电精密调节器

行程大，可直接进行位置测量

用于 X、Y、Z、θ 的扫描和定位X0 $Y0 $Z

线性行程 800 μm × 800 μm × 200 μm

旋转速度高达 1 mrad

通过并联运动实现更快的响应时间和更高的多轴精度

电容式传感器可实现最大线性度

通过PICMA®压电陶瓷促动器实现超长的使用寿命

无间隙和高精度固态导轨

所有 6 个自由度的主动补偿

应用

干涉

测量

纳米压印

半导体测试

半导体制造

带电容式传感器的亚纳米分辨率

电容式传感器以亚纳米分辨率进行非接触式测量。它们保证了出色的机芯线性度、高长期稳定性和 kHz 范围内的带宽。

自动配置和快速组件更换

机械装置和控制器可以根据需要组合并快速更换。所有伺服和线性化参数都存储在机械师D-Sub连接器的ID芯片中。每次控制器打开时，数字控制器的自动校准功能都会自动使用此数据。

适用于要求苛刻的真空应用

压电系统中使用的所有组件都非常适合在真空中使用。操作时无需润滑剂或润滑脂。不含聚合物的压电陶瓷系统可实现特别低的释气率。

PICMA 压电陶瓷促动器具有出色的使用寿命®

获得专利的PICMA®压电陶瓷促动器是全陶瓷绝缘的。这可以保护它们免受由于泄漏电流增加而导致的潮湿和故障的影响。PICMA®促动器的使用寿命是传统聚合物绝缘致动器的十倍。经过 100 亿次循环验证，无一次故障。

通过无间隙固态接头导向装置实现高导向精度

固态接头导轨无需维护、无摩擦、无磨损，无需润滑剂。它们的刚性使其具有很高的弹性，对冲击载荷和振动不敏感。它们具有 100% 真空能力，可在很宽的温度范围内运行。

通过直接位置测量实现最高精度

运动直接在运动平台上测量，不受驱动或导向元件的影响。这可实现最佳的可重复性、出色的稳定性和刚性、快速响应的控制。

P-587.6CD

P-562.6CD PIMars 6轴纳米定位工作台

6自由度高精度纳米定位器

6 个运动轴：3 ×线性，3 个×旋转

线性行程可达 200 μm，倾斜角度可达 1 mrad。

通过并联运动实现更快的响应时间和更高的多轴精度

通过集成电容式传感器实现最高线性度

无间隙和高精度固态导轨

出色的扫描平坦度

自由光圈 66 mm × 66 mm

通过PICMA®压电陶瓷促动器实现超长的使用寿命

特高压兼容多达 10 个-9hPa

应用

扫描显微镜

超分辨率显微镜

生物工艺学

掩模/晶圆定位

样品定位

干涉

测量

带电容式传感器的亚纳米分辨率

电容式传感器以亚纳米分辨率进行非接触式测量。它们保证了出色的机芯线性度、高长期稳定性和 kHz 范围内的带宽。

自动配置和快速组件更换

机械装置和控制器可以根据需要组合并快速更换。所有伺服和线性化参数都存储在机械师D-Sub连接器的ID芯片中。每次控制器打开时，数字控制器的自动校准功能都会自动使用此数据。

适用于要求苛刻的真空应用

压电系统中使用的所有组件都非常适合在真空中使用。操作时无需润滑剂或润滑脂。不含聚合物的压电陶瓷系统可实现特别低的释气率。

PICMA 压电陶瓷促动器具有出色的使用寿命®

获得专利的PICMA®压电陶瓷促动器是全陶瓷绝缘的。这可以保护它们免受由于泄漏电流增加而导致的潮湿和故障的影响。PICMA®促动器的使用寿命是传统聚合物绝缘致动器的十倍。经过 100 亿次循环验证，无一次故障。

通过无间隙固态接头导向装置实现高导向精度

固态接头导轨无需维护、无摩擦、无磨损，无需润滑剂。它们的刚性使其具有很高的弹性，对冲击载荷和振动不敏感。它们具有 100% 真空能力，可在很宽的温度范围内运行。

通过平行位置测量实现纳米范围内的高路径保真度

所有自由度均根据单个固定基准进行测量。可以实时调节运动到另一个轴的不需要的串扰（取决于带宽）（主动引导）。即使在动态操作中，也能实现纳米范围内的高路径保真度。

P-562.6CD