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Physik 多轴压电
Physik PI多轴压敏仪允许在多达6个轴上以亚纳米级精度进行定位和扫描，包括所有倾斜和旋转方向。从特别紧凑的压电立方体到具有大孔径和低剖面的设计，有许多变体可供选择。
6轴压电定位器
P-587 6轴压电精密调节器
行程大，可直接进行位置测量
用于 X、Y、Z、θ 的扫描和定位X0 $Y0 $Z
线性行程 800 μm × 800 μm × 200 μm
旋转速度高达 1 mrad
通过并联运动实现更快的响应时间和更高的多轴精度
电容式传感器可实现最大线性度
通过PICMA®压电陶瓷促动器实现超长的使用寿命
无间隙和高精度固态导轨
所有 6 个自由度的主动补偿
应用
干涉
测量
纳米压印
半导体测试
半导体制造
带电容式传感器的亚纳米分辨率
电容式传感器以亚纳米分辨率进行非接触式测量。它们保证了出色的机芯线性度、高长期稳定性和 kHz 范围内的带宽。
自动配置和快速组件更换
机械装置和控制器可以根据需要组合并快速更换。所有伺服和线性化参数都存储在机械师D-Sub连接器的ID芯片中。每次控制器打开时，数字控制器的自动校准功能都会自动使用此数据。
适用于要求苛刻的真空应用
压电系统中使用的所有组件都非常适合在真空中使用。操作时无需润滑剂或润滑脂。不含聚合物的压电陶瓷系统可实现特别低的释气率。
PICMA 压电陶瓷促动器具有出色的使用寿命®
获得专利的PICMA®压电陶瓷促动器是全陶瓷绝缘的。这可以保护它们免受由于泄漏电流增加而导致的潮湿和故障的影响。PICMA®促动器的使用寿命是传统聚合物绝缘致动器的十倍。经过 100 亿次循环验证，无一次故障。
通过无间隙固态接头导向装置实现高导向精度
固态接头导轨无需维护、无摩擦、无磨损，无需润滑剂。它们的刚性使其具有很高的弹性，对冲击载荷和振动不敏感。它们具有 100% 真空能力，可在很宽的温度范围内运行。
通过直接位置测量实现最高精度
运动直接在运动平台上测量，不受驱动或导向元件的影响。这可实现最佳的可重复性、出色的稳定性和刚性、快速响应的控制。
P-587.6CD
P-562.6CD PIMars 6轴纳米定位工作台
6自由度高精度纳米定位器
6 个运动轴：3 ×线性，3 个×旋转
线性行程可达 200 μm，倾斜角度可达 1 mrad。
通过并联运动实现更快的响应时间和更高的多轴精度
通过集成电容式传感器实现最高线性度
无间隙和高精度固态导轨
出色的扫描平坦度
自由光圈 66 mm × 66 mm
通过PICMA®压电陶瓷促动器实现超长的使用寿命
特高压兼容多达 10 个-9hPa
应用
扫描显微镜
超分辨率显微镜
生物工艺学
掩模/晶圆定位
样品定位
干涉
测量
带电容式传感器的亚纳米分辨率
电容式传感器以亚纳米分辨率进行非接触式测量。它们保证了出色的机芯线性度、高长期稳定性和 kHz 范围内的带宽。
自动配置和快速组件更换
机械装置和控制器可以根据需要组合并快速更换。所有伺服和线性化参数都存储在机械师D-Sub连接器的ID芯片中。每次控制器打开时，数字控制器的自动校准功能都会自动使用此数据。
适用于要求苛刻的真空应用
压电系统中使用的所有组件都非常适合在真空中使用。操作时无需润滑剂或润滑脂。不含聚合物的压电陶瓷系统可实现特别低的释气率。
PICMA 压电陶瓷促动器具有出色的使用寿命®
获得专利的PICMA®压电陶瓷促动器是全陶瓷绝缘的。这可以保护它们免受由于泄漏电流增加而导致的潮湿和故障的影响。PICMA®促动器的使用寿命是传统聚合物绝缘致动器的十倍。经过 100 亿次循环验证，无一次故障。
通过无间隙固态接头导向装置实现高导向精度
固态接头导轨无需维护、无摩擦、无磨损，无需润滑剂。它们的刚性使其具有很高的弹性，对冲击载荷和振动不敏感。它们具有 100% 真空能力，可在很宽的温度范围内运行。
通过平行位置测量实现纳米范围内的高路径保真度
所有自由度均根据单个固定基准进行测量。可以实时调节运动到另一个轴的不需要的串扰（取决于带宽）（主动引导）。即使在动态操作中，也能实现纳米范围内的高路径保真度。
P-562.6CD
