P-733.3 XYZ压电陶瓷纳米定位器，具有孔径的高精度XYZ扫描仪

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具有孔径的高精度XYZ扫描仪

X和Y向上的行程达100微米 × 100微米，Z向上的行程达10微米

带直接驱动器的高速版本

并联运动实现更高精度和动态

零间隙，高精度柔性铰链导向系统

电容式传感器使分辨率达0.1纳米

超高真空兼容和非磁性版本

导向误差主动补偿的并行计量

50毫米×50毫米的通光孔径用于透射光应用

应用领域

·         扫描显微镜

·         共聚焦显微镜

·         掩模/晶圆定位

·         表面测量技术

·         纳米压印

·         显微操纵

·         图像处理/稳定

·         高运动平面度和直线度的纳米定位

带电容式传感器，实现亚纳米分辨率

电容式传感器以亚纳米分辨率进行测量，且无接触。它们可确保优异的运动线性、长期稳定性和千赫兹范围的带宽。

自动配置和快速部件更换

机械部件和控制器可按需组合、快速更换。所有伺服和线性化参数均存储在机械部件的Sub-D连接器的ID芯片中。每当控制器启动时，数字控制器的自动校准功能就会使用这些数据。

适用于复杂真空应用

压电陶瓷系统中使用的所有部件均非常适合于在真空中使用。操作无需润滑剂或润滑脂。无聚合物的压电陶瓷系统可实现极低的排气率。

PICMA压电陶瓷促动器带来超长使用寿命

专利的PICMA压电陶瓷促动器为全瓷绝缘。这可以防潮，避免漏电流增大造成故障。PICMA促动器的使用寿命比传统的聚合物绝缘促动器长达十倍。它们被证明可实现无故障运行1000亿个循环。

零间隙柔性铰链导向带来高导向精度

柔性铰链导向无需维护、无摩擦、无磨损，无需润滑。它们的刚性可实现高负载能力，且它们对冲击和振动不敏感。它们百分百真空兼容，可在很广的温度范围内工作。

并联位置测量实现纳米级的高跟踪精度

各自由度均相对于单一固定参考进行了测量。对其他轴的不良运动串扰均可得到实时主动补偿（取决于带宽）（主动导向）。即使在动态操作中，跟踪精度也可高达纳米级。

订购信息

直驱版本

P-733.3DD

高动态，高精度XYZ纳米定位系统，30 µm×30 µm×10 µm，直接驱动，电容传感器，并联

计量，D-sub连接器

带有D-sub连接器的版本（m）

P-733.3CD

精密XYZ纳米定位系统，100 µm×100 µm×10 µm，电容传感器，并行计量，D-sub连接器

带有LEMO连接器的版本

P-733.3CL

精密XYZ纳米定位系统，100 µm×100 µm×10 µm，电容传感器，并行计量，LEMO连接器

真空兼容版本达10-6 hPa

P-733.3VD

精密XYZ纳米定位系统，100 µm×100 µm×10 µm，电容传感器，并行计量，D-sub连接器，

真空兼容10-6 hPa